ST-17 - 講演プログラム（セッション別） - SCEJ 48th Autumn Meeting (Tokushima, 2016)

`化学工学会第48回秋季大会`

Last modified: 2016-09-07 09:49:00

大会情報
プログラム
セッション別
- セッション一覧
- SP 特別シンポ
  - SP-1
  - SP-2
  - SP-3
  - SP-4
- ST 部会横断
  - ST-11
  - ST-12
  - ST-13
  - ST-14
  - ST-15
  - ST-16
  - ST-17
  - ST-18
- HQ 本部企画
  - HQ-21
  - HQ-22
  - HQ-23
- SY 部会 51-59
  - SY-51
  - SY-52
  - SY-53
  - SY-54
  - SY-55
  - SY-56
  - SY-57
  - SY-58
  - SY-59
- SY 部会 60-69
  - SY-60
  - SY-61
  - SY-62
  - SY-63
  - SY-64
  - SY-65
  - SY-66
  - SY-67
  - SY-68
  - SY-69
- SY 部会 70-79
  - SY-70
  - SY-71
  - SY-72
  - SY-73
  - SY-74
  - SY-75
  - SY-76
  - SY-77
  - SY-78
  - SY-79
- SY 部会 81-89
  - SY-80
  - SY-81
  - SY-82
  - SY-83
  - SY-84
  - SY-85
  - SY-86
  - SY-87
  - SY-88
  - SY-89
会場別
- 会場一覧
- 共通講義棟(K棟)
  - A (K206)
  - B (K201)
  - C (K202)
  - D (K309)
  - E (K303)
  - F (K407)
  - G (K401)
  - H (K402)
  - I (K507)
  - J (K501)
  - K (K502)
  - L (6Fスタジオ)
- ポスター(K棟)
- 教養教育 4/5号館
  - M (4-201)
  - N (4-202)
  - O (5-201)
  - P (4-301)
  - Q (4-302)
  - R (4-303)
  - S (4-304)
  - T (5-302/303)
  - U (5-301)
  - V (4-401)
  - W (4-402)
  - X (4-404)
  - Y (5-401)
検索・一覧

講演プログラム（セッション別） : ST-17

ST-12 電池・電気化学エネルギー変換とその未来 (D会場)の3日目午後、D316以降のスケジュールが20分繰上げとなりました（ST-13ポスターセッションの表彰式も繰り上がります）。当該部分は黄色バックで表示されます。ST-12 プログラム

ST-17 【部会横断型シンポジウム】 CVD・ドライプロセス　－構造・機能制御の反応工学－

オーガナイザー：

杉山正和（東京大学）・島田　学（広島大学）・川上雅人（東京エレクトロン）

CVDをはじめとするドライプロセスは，エレクトロニクス，太陽電池，MEMS，機能性コーティング等の分野において，基幹技術となっている。本シンポジウムでは，CVDと類縁技術を利用した薄膜形成，微粒子合成，微細加工における製品の構造と機能を制御するために，反応メカニズムの理解による論理的な最適化を目指し議論することを目的とします。なお，優秀な発表をされた若手研究者には，CVD反応分科会奨励賞を贈呈します。

M 会場・第 1 日 | M 会場・第 2 日

講演時刻	講演番号	講演題目／発表者	キーワード	分類番号	受理番号
M 会場(教養教育4/5号館 2F 4-201) ・第 1 日(9月6日(火))
(10:40～12:00) (座長百瀬健)
10:40～ 11:00	M106	[招待講演] ミストを用いた大気圧下で大面積に亘り高品質な機能薄膜を作製する技術の開発 (高知工大) ○川原村敏幸・ Giang T. Dang・須和祐太・佐藤翔太・松﨑俊祐	mist CVD Leidenfrost effect metal oxide functional thin film	ST-17	601
11:00～ 11:20	M107	超音波霧化プロセスによるペロブスカイト太陽電池の作製 (東大院工) ○(学)小南雄紀・ (東大環安セ/東大院工) (正)辻佳子	perovskite solar cell TiO2 spray-deposition	ST-17	641
11:20～ 11:40	M108	プラズマジェットCVD法によるシリコンナノ粒子凝集体の高速製膜に関する研究 (岐阜大院工) 永井祐輔・細川寛人・ (岐阜大工) ○(正)西田哲・小宮山正治	CVD plasma nanoparticle	ST-17	533
11:40～ 12:00	M109	[優秀論文賞] エアロゾルナノ粒子堆積によって作製した多孔質TiO₂薄膜の形態と空隙率に焼成が与える影響 (広大院工) ○(正)久保優・萬谷勇樹・ (正)島田学	Phase transformation Plasma-enhanced CVD Sintering	ST-17	263
(13:00～14:00) (座長川上雅人)
13:00～ 13:20	M113	[招待講演] 複雑形状への高性能水蒸気不透過を実現する全ALD構成バリア膜の開発 (アルバック超材研) ○座間秀昭・本田和広	atomic layer despoition gas barrier film water vapor transmission rate	ST-17	412
13:20～ 13:40	M114	SiC-CVIプロセスの初期成長に対する下地材料の影響 (東大院工) ○(学)嶋紘平・ (学)佐藤登・ (学)舩門佑一・ (IHI基盤研) (正)福島康之・ (東大院工) (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	CVD SiC methyltrichlorosilane	ST-17	718
13:40～ 14:00	M115	均一含浸を目指したSiC-CVIプロセスへのHClガス添加効果 (東大院工) ○(学)中智明・ (学)佐藤登・ (学)嶋紘平・ (学)舩門佑一・ (IHI基盤研) (正)福島康之・ (東大院工) (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	SiC CVI	ST-17	972
(14:00～15:00) (座長野田優)
14:00～ 14:20	M116	気固原料PECVD法による高アスペクト比粒子包埋膜の合成 (広大院工) ○(学·技基)重松祐紀・ (正)久保優・ (正)島田学	Nanocomposite film Carbon nanotube Abnormal growth	ST-17	264
14:20～ 14:40	M117	超臨界流体を用いたBi₄Ti₃O₁₂製膜における反応機構解析 (東大院工) ○(学)チョウユウ・ (正)下山裕介・ (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	supercritical fluid deposition reaction mechanism Bi4Ti3O12	ST-17	924
14:40～ 15:00	M118	Ultra-porous carbon electrode fabricated from supercritical drying and application for lithium-air battery (東工大院理工) ○(学)Kunanusont Nattanai・ (東工大物質理工) (正)下山裕介	porous carbon electrode supercritical drying lithium-air battery	ST-17	678
M 会場(教養教育4/5号館 2F 4-201) ・第 2 日(9月7日(水))
(9:00～10:00) (座長河瀬元明)
9:00～ 9:20	M201	熱CVD法による立方晶窒化ホウ素膜合成に向けた検討 (東大工) ○(学)佐藤宏樹・ (正)百瀬健・ (京セラ) 谷渕栄仁・ (東大工) (正)霜垣幸浩	CVD boron nitride coating	ST-17	626
9:20～ 9:40	M202	化学的表面処理を施したWC-Co基板上へのTiC硬質膜の作製と評価 (阪府大院工) ○(学)田中千尋・ (学)鈴木聡一郎・ (正)岡本尚樹・ (正)齊藤丈靖・ (阪大産研) 樋口宏二・北島彰	adhesion strength TiC hard coating Cemented carbide	ST-17	634
9:40～ 10:00	M203	超臨界流体を用いた銅薄膜堆積における流体中反応を活用した下地選択性の制御 (東大院工) ○(正)百瀬健・河村洋佑・ (正)下山裕介・ (正)霜垣幸浩	Supercritical fluid deposition Cu underlayer selectivity	ST-17	769
(10:00～11:00) (座長三浦豊)
10:00～ 10:20	M204	スパッタによるAlドープZnO電極を有する強誘電体キャパシタの作製と評価 (阪府大院工) ○(学·技基)高田瑶子・ (学)玉野梨加・ (正)岡本尚樹・ (正)齊藤丈靖・吉村武・藤村紀文・ (阪大産研) 樋口宏二・北島彰	ferroelectric capacitor Al-doped ZnO sputtering	ST-17	903
10:20～ 10:40	M205	再利用サファイア基板上へのCuの急速エピタキシーとCVDによるグラフェンの精密合成 (早大先進理工) ○(学)永井款也・ (正)長谷川馨・ (正)野田優	graphene chemical vapor deposition epitaxial growth	ST-17	429
10:40～ 11:00	M206	高純度・高配向性Co薄膜形成を目指したホットワイヤALDプロセスの最適化 (東大院工) ○(学)中智明・ (学)嶋紘平・ (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	Hot-wire-assisted ALD Cobalt	ST-17	1002
(11:00～12:00) (座長島田学)
11:00～ 11:20	M207	ドデカン/エタノール混合燃料を用いたディーゼルエンジンにおけるカーボンナノチューブの合成 (東工大院理工) ○(学)鈴木俊介・ (正)森伸介	carbon nanotube diesel engine flame synthesis	ST-17	20
11:20～ 11:40	M208	C5～C7炭化水素からの炭素CVDにおける金属基板への浸炭速度の解析 (京大工) ○(正)河瀬元明・ (学)馬場翔平	CVD Carbon Solid-phase diffusion	ST-17	303
11:40～ 12:00	M209	[招待講演] 分子篩炭素のin silico合成による気体分離特性制御の検討 (京大工) ○(正)田中秀樹・足立平・山根康之・ (正)宮原稔	CVD Molecular simulation Air separation	ST-17	395
(13:00～14:00) (座長齊藤丈靖)
13:00～ 13:40	M213	[展望講演] Li-ion電池の現状と課題、正極材に求められる特性 (日亜化学) 住友威史	Li-ion Large format battery Positive Electrode Materials	ST-17	176
13:40～ 14:00	M215	Si-Cu/カーボンナノチューブ/Cu複合電極の急速蒸着とリチウム二次電池負極応用 (早大先進理工) ○(学·修習)青井慈喜・ (正)長谷川馨・ (正)野田優	lithium secondary battery physical vapor deposition carbon nanotube	ST-17	912
(14:00～15:20) (座長杉山正和)
14:00～ 14:20	M216	Effect of heat treatments on the photocatalytic activity of Ag-TiO₂ nanocomposite films prepared by a one-step gas-phase deposition process (広大院工) ○(正)Kusdianto K.・ Jiang Dianping・ (正)Kubo Masaru・ (正)Shimada Manabu	PECVD Annealing Crystal-phase	ST-17	267
14:20～ 14:40	M217	モノメチルトリクロロシランを用いたSiC-CVDプロセス最適化のための総括反応モデル構築 (3) (東大院工) ○(学)舩門佑一・ (学)佐藤登・ (学)嶋紘平・ (学)中智明・ (IHI基盤研) (正)福島康之・ (東大院工) (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	SiC Methyltrichlorosilane Modelization	ST-17	868
14:40～ 15:20	M218	[展望講演] III-V族半導体量子ドット成長のその場観察と成長メカニズム (阿南高専) 塚本史郎	MBE STM in-situ	ST-17	35

講演発表プログラム
講演プログラム一覧
セッション一覧
講演プログラムの検索
化学工学会第48回秋季大会

www3.scej.org

化学工学会 第48回秋季大会

講演プログラム（セッション別） : ST-17

ST-17 【部会横断型シンポジウム】 CVD・ドライプロセス －構造・機能制御の反応工学－

`化学工学会第48回秋季大会`

ST-17 【部会横断型シンポジウム】 CVD・ドライプロセス　－構造・機能制御の反応工学－