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化学工学会 第57回秋季大会 (東広島)

Last modified: 2026-09-13 08:49:00

講演プログラム（セッション別） : ST-27

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ST-27 CVD/ALD・ドライプロセス －構造・機能制御の反応工学－

オーガナイザー：三宅 雅人（立命館大学）・長澤 寛規（広島大学）・藤原 翔（埼玉大学）

CVDやALDなどのドライプロセスはエレクトロニクス、エネルギーデバイス、機能性コーティングなど様々な分野で重要な基幹技術となっています。特に近年は産業のコメとも呼ばれる半導体産業の重要性が再認識され、メカニズムの理解に立脚したプロセスの構築と制御が増々求められています。本シンポジウムでは、ドライプロセスを利用した薄膜形成、微粒子合成、微細加工の反応メカニズムを反応工学的見地より理解し、合理的で効率的な反応プロセスや反応装置を議論します。

G 会場 ・ 第 1 日 | G 会場 ・ 第 2 日

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
G 会場(総合科学部 K棟 2階 K210) ・ 第 1 日(9月14日(月))
(13:20～16:00) (座長 百瀬 健・藤原 翔)
13:20～ 14:00G114[展望講演] 半導体デバイスの最先端とは何か？ デバイスとパッケージの微細化・3D化の歴史から考える
(広大半導体研) 青砥 なほみ
Semiconductor
Logic
Memory
ST-27347
14:00～ 14:20G116ALDにおける原料オンデマンド供給を可能にする高速開閉バルブの動作制御Ⅱ～流量応答の解析～
(熊大院自) ○(学)石田 栞大・ 西里 洋・ (学)小田 翔太・ (熊大院自/堀場エステック) 中家 佑吾・ (熊大半導体) 奈須 錦一・ (正)平山 幹郎・ (熊大先端) 岡島 寛・ (熊大半導体) (正)百瀬 健
Atomic Layer Deposition
Sustainable
Valve
ST-27679
14:20～ 14:40G117TMA/NH3系FM-CVDによる低温AlN製膜と高熱伝導率化の検討(2)結晶粒径の影響
(東大院工) ○(学)畠山 大樹・ (正)大髙 雄平・ (正)佐藤 登・ (正)玉置 直樹・ (正)山口 潤・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
AlN
CVD
3DIC
ST-27828
14:40～ 15:00休憩
15:00～ 15:20G119プラズマCVD法によるB・Mo添加TiCN膜の作製と評価
(阪公大院工) ○(学)黒木 利津・ (正)齊藤 丈靖・ (正)岡本 尚樹・ 川本 実加
DC plasma CVD
TiSiCN
ST-27943
15:20～ 15:40G120[招待講演] TEL開発AIツールによる成膜プロセス最適化事例の紹介
(東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ) ○伊藤 聡・ (東京エレクトロン) 福地 洋一郎・ 岡谷 基弘
AI tools
ALD/CVD
Process informatics
ST-27211
15:40～ 16:00G121[招待講演] 物性測定からAI物性推算へ:熱力学研究の新たな展開
(埼玉大) (正)松川 博亮
Thermodynamic Properties
Machine Learning
Phase Equilibria
ST-2797
G 会場(総合科学部 K棟 2階 K210) ・ 第 2 日(9月15日(火))
(13:00～15:40) (座長 島田 学・長澤 寛規)
13:00～ 13:40G213[展望講演] 気相中での微粒子のナノ構造化と機能性材料への展開
(広大先進理工) (正)荻 崇
Spray process
Nanostructured particle
ST-2731
13:40～ 14:00G215気相燃焼法によるハイスループット触媒探査法の開発
(埼玉大院理工) ○(正)藤原 翔・ (金沢大理工) 青山 航大・ (正)大坂 侑吾・ (正)辻口 拓也・ (金沢大新学術) (正)児玉 昭雄
Flame spray pyrolysis
High-Throughput Synthesis
CO2 methanation
ST-27346
14:00～ 14:20G216Structural Control of ZnO Nanorods for Application to Perovskite Solar Cells
(UTokyo) ○Wang Yuhui・ (正)Tsuji Yoshiko
ZnO nanorods
Hydrothermal growth
Perovskite solar cells
ST-27528
14:20～ 14:40G217浮遊PECVD法によるZnO-TiO2-CNTナノ複合物の合成と機能評価
(広大院先進理工) ○(学·技基)益田 玲絵奈・ (技基)川本 壮人・ (正)久保 優・ (正)島田 学
nanoparticle coating
aerosol process
gas sensor
ST-27545
14:40～ 15:00G218カーボンナノチューブの気相合成における触媒源加熱とガス混合の影響評価
(早大先進理工) ○(学)安藤 弘燿・ (学)根岸 希々花・ 直塚 悠希・ (早大理工総研) (正)大沢 利男・ (早大先進理工) (正)野田 優
carbon nanotube
floating catalyst chemical vapor deposition
computational fluid dynamics
ST-27331
15:00～ 15:20G219合成ガスとCNTの生成のためのNi-Mo2C/MgO触媒へのCeO2の助触媒効果
(京大院エネ) ○(海)Saconsint Supanida・ (京大院工) (正)佐野 紀彰・ (正)鈴木 哲夫
carbon nanotube
carbon dioxide
catalyst
ST-27762
15:20～ 15:40G220リチウムイオン電池のLMO-NCM混合正極の一括直接再生法の開発
(早大先進理工) ○(学)北島 大樹・ (正)前 智太郎・ (早大先進理工/早大理工総研) (正)野田 優
Direct recycling
Mixed cathode
lithium-ion battery
ST-27165

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化学工学会 第57回秋季大会 (東広島)

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