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化学工学会 第80年会

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11) エレクトロニクス

11-c. 微細加工技術（エッチング、薄膜形成、等）

最終更新日時：2015-07-10 15:24:01

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番号		講演題目／発表者キーワード発表形式
417主鎖切断型電子線レジストポリマーの合成とその高感度化
(都城高専) (学)○廣濱 祥・ (正)岩熊 美奈子・ (熊大工) 國武 雅司・ (山口大工) 池田 紳悟・ 岸村 由紀子・ 浅田 裕法・ (グルーオンラボ) 星野 亮一		electron beam resist
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