化学工学会-SCEJ

化学工学会 第72年会

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11-a. 半導体製造・微細加工技術

最終更新日時：2007-02-13 11:06:17

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番号		講演題目／発表者キーワード受理日時
43半導体プロセス設計のための量子分子動力学法に基づくマルチフィジックスシミュレータの開発
(東北大院工/JSTさきがけ) ○(正)久保 百司・(東北大院工) 坪井 秀行・(正)古山 通久・畠山 望・(正)遠藤 明・(正)高羽 洋充・Del Carpio Carlos A.・(東北大未来セ/東北大院工) (正)宮本 明		quantum chemical molecular dynamics
semiconductor fabrication process
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