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CVD反応分科会 研究会開催記録


2011年

4月28日 第1回講演会「低級炭化水素からのカーボンCVD − 成膜前駆体と膜構造」

5月20日 第11回シンポジウム「ナノカーボン製造プロセスとエレクトロニクス応用」

6月10日 第12回シンポジウム「薄膜評価・分析の基礎と最先端」

8月18,19日 第53回CVD研究会(共催行事)

10月26日 第13回シンポジウム「CVDの実務的課題:基板とリアクタの清浄化技術」

12月6日 第1回講習会「CVD初級講座 プロセス・装置基礎解説とシミュレーションの応用〜」

12月12日 第54回CVD研究会(共催行事)

2012年

1月30日 第14回シンポジウム「不揮発性メモリの材料とプロセス技術」

4月18日 第2回講演会「III-V半導体ナノエピタキシャル構造を用いた高効率太陽電池とその成長技術」

5月25日 第15回シンポジウム「超臨界流体を利用した 材料・デバイス合成」

8月8日 第16回シンポジウム「薄膜成長における核発生機構と課題・話題」

8月30,31日 第55回CVD研究会(共催行事)

11月7日 第3回講演会「カーボンナノチューブのCVD合成の理解とカスタム化:1秒合成から連続合成まで」

11月21日 第17回シンポジウム「貴金属薄膜・微粒子の合成プロセス」

12月17日 第56回CVD研究会(共催行事)

2013年

1月21日 第2回講習会「CVDプロセス速度論の基礎と実際」

2月26日 第18回シンポジウム「各種透明導電膜の特徴と製膜技術」

5月29日 第19回シンポジウム「薄膜成長における構造形成と機能制御」

8月8,9日 第57回CVD研究会(共催行事)

9月6日 第20回シンポジウム「データベースの構築と活用」

11月19日 第21回シンポジウム「ALDプロセスの基礎と応用」

12月10日 第58回CVD研究会(共催行事)

2014年

1月29日 第22回シンポジウム「高機能保護膜の基礎と展開」

8月27,28日 第59回CVD研究会(共催行事)

12月18日 第60回CVD研究会(共催行事)

2015年

1月29日 第23回シンポジウム「窒化物半導体の成長技術とメカニズム理解(ノーベル賞受賞記念)」

6月23日 第4回講演会「デバイス微細化と製造装置の進化」

8月27,28日 第61回CVD研究会(共催行事)

12月1日 第24回シンポジウム「パワーデバイス」

12月8日 第62回CVD研究会(共催行事)

2016年

3月17日 第5回講演会「Si基板上厚膜GaN成長における歪み制御およびデバイス応用」

8月18,19日 第63回CVD研究会(共催行事)

12月15日 第64回CVD研究会(共催行事)

2017年

2月1日 第25回シンポジウム「原子層堆積/原子層エッチングの基礎と応用」

8月7,8日 第65回CVD研究会(共催行事)

11月27日 第26回シンポジウム「製膜プロセスシミュレーションの最前線:マルチフィジクスと非定常計算の活用」




 

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