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CVD反応分科会のご紹介

 CVD反応分科会は化学工学会反応工学部会内の一分科会として,CVDやエッチングなどの各種ドライプロセスによる薄膜作製・加工,微粒子合成などの反応機構の解析と制御を目指した研究活動を展開しております。 光・電子デバイス,MEMS,マイクロリアクタなどの形成において,そのプロセス技術の最適条件を経験的に探索するのではなく,反応機構の本質的な理解を深めた上での論理的な最適化を目指し,各種シミュレーション技術の利用なども検討すべきと考えています。 デバイスの機能を発現させる構造制御の科学を深耕し,各種応用分野への展開を図っております。
 主な活動は,年に3回主催するミニシンポジウム,化学工学会秋季大会にて開催する「CVD・ドライプロセス」シンポジウムです。 また,CVD研究会(http://cvd.jpn.org/)が主催する年に2回のCVD研究会セミナーに共催しており,CVD反応分科会の会員はCVD研究会会員と同等の価格で参加ができるようにしております。

 

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